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EVG晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:EVG-560

品       牌:EVG

廠商性質(zhì):代理商

產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2024-11-09 12:56:19瀏覽次數(shù):5546次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,交通,航天,汽車,綜合
EVG晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))可容納四個(gè)鍵合室,并具有各種鍵合室配置選項(xiàng),適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。

EVG晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng) EVG560應(yīng)用:全自動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于大批量生產(chǎn)。

一、簡介

EVG560自動(dòng)化晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))可容納四個(gè)鍵合室,并具有各種鍵合室配置選項(xiàng),適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。EVG560鍵合機(jī)基于相同的鍵合室設(shè)計(jì),并結(jié)合了EVG手動(dòng)鍵合系統(tǒng)的主要功能以及增強(qiáng)的過程控制和自動(dòng)化功能,可提供高產(chǎn)量的生產(chǎn)鍵合。機(jī)器人處理系統(tǒng)會自動(dòng)加載和卸載處理室。

二、EVG晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng)特征

全自動(dòng)處理,可自動(dòng)裝卸鍵合卡盤
多達(dá)四個(gè)鍵合室,用于各種鍵合工藝
與包括SmartView的EVG機(jī)械和光學(xué)對準(zhǔn)器兼容
同時(shí)在頂部和底部快速加熱和冷卻
自動(dòng)加載和卸載鍵合室和冷卻站
遠(yuǎn)程在線診斷
三、技術(shù)數(shù)據(jù)

大加熱器尺寸:150、200、300毫米
裝載室使用5軸機(jī)器人
(晶圓鍵合機(jī))多的鍵合模塊:4個(gè)



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